項(xiàng)目

U948S

測量范圍

Z軸(垂直)

640μm (-320μm~+320μm) / 25200μin (-12600μin~+12600μin)

X軸(水平)

17.5mm（0.69 inch）

分辨率

Z軸

（垂直）

0.002μm/±20μm

0.004μm/±40μm

0.008μm/±80μm

0.020μm/±160μm

0.040μm/±320μm

測量項(xiàng)目

參數(shù)

Ra  Rz  Rq  Rt  Rc  Rp  Rv  R3z  R3y  Rz(JIS)  Ry  Rs  Rsk  Rku  Rmax  Rsm   Rmr（Tp）  RPc  Rk  Rpk  Rvk  Mr1  Mr2

標(biāo)準(zhǔn)

ISO4287國際標(biāo)準(zhǔn)；ANSI B46.1美國標(biāo)準(zhǔn)；

DIN4768德國標(biāo)準(zhǔn)；JIS B601日本標(biāo)準(zhǔn)

圖形

支承率曲線，粗糙度 原始輪廓，濾波波形

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評(píng)定長度（ln）

Ln= lr×n    n=1~5

傳感器

測量原理

位移式差動(dòng)電感

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

測力

觸針測力：4mN；導(dǎo)頭測力：<400mN

導(dǎo)頭

硬質(zhì)合金，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s    lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,   Vt=1mm/s        返回      Vt=1mm/s

示值精度

0.001μm

示值誤差

±(5nm+0.1A)         A:多刻線樣板參數(shù)Ra的標(biāo)準(zhǔn)值

示值重復(fù)性（變動(dòng)性）

不大于3%

殘余輪廓

不大于0.010μm

電源及充電電壓

3600mAh鋰離子電池，

主機(jī)外形尺寸

155×145×58mm

驅(qū)動(dòng)器外形尺寸

23×27×115mm

支架可調(diào)高度

40mm

重量

約1000g

工作環(huán)境

溫度：- 20℃ ~  40℃     濕度：< 90% RH

儲(chǔ)存運(yùn)輸環(huán)境

溫度：- 40℃  ~   60℃   濕度：< 90% RH

參    數(shù)

顯 示 范 圍

Ra,Rq

0.005μm  ~  64μm

Rz,R3z,Ry,Rt,Rp,Rm

0.02μm  ~ 640μm

Sk

0  ~  100%

S,Sm

0.02~1000μm

Rmr(tp)

0 ~ 100%

粗糙度儀主機(jī)

1臺(tái)

標(biāo)配傳感器TS160斧式傳感器

1只

高度調(diào)節(jié)支架

1套

校準(zhǔn)試塊

1塊

試塊支架

1個(gè)

探頭線（1米）

1條

觸摸筆

1只

充電器

1個(gè)

USB數(shù)據(jù)線

1條

使用說明書

1本

合格證

1張

保修卡

1張

儀器箱

1個(gè)